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扫描电镜方法
更新时间:2021-11-18   点击次数:659次
   扫描电镜是用电子打在样品上,用电子束成像。这主要是因为电子的波长小,光的波长在400到700纳米量级,而电子的波长公式是 lambda=h/(mv),一般用的电压是80kV 到 300kV,电子的波长就是在0.01纳米左右,和原子的大小接近。更短波长的好处,是可以观测到更小尺寸的东西,否则会因为波的衍射和干涉无法分辨。通常看到的生物样品,和高倍昆虫图片,是用扫描电镜拍到的,实际上这是电子显微镜中放大倍数低的,纯科普的。这些其实还可以用光学显微镜看。我们说的「颜色」是可见光的颜色,对于电子来说,它不是光,因此没有颜色一说。因此样品成像无颜色
  扫描电子显微镜目前广泛的用途是看电子元件,像CPU现在都是25纳米制程,这些的检查都是用高分辨率的扫描电镜。还有一些生物样品,比如骨头断面组织之类也会用到扫描电镜。还有纳米线的形貌像(外观)。
  扫描电镜方法:
  扫描电镜方法是利用扫描电镜对样品的结构和性能进行分析的方法。扫描电镜的基本部件有透镜系统、电子枪、电子收集器、观察和记录影像的阴极射线管等。其基本原理是用极细的电子束在样品表面上扫描,然后按电视原理放大成像,显示在电视屏幕上。
  当电子轰击样品表面时会产生各种信号,其中包括二次电子、背散射电子和不同能量的光子等。这些信号来自样品的特定发射区域,它随表面形貌的不同而变化。从而可以获得样品的成份、表面形貌、晶体结构等信息。扫描电镜的特点之一是,用它检验大块样品时能获得高的分辨率,商品仪器可达50埃,专用仪器可达25埃。特点之二是,利用扫描电镜的大景深可获得样品的三维形态。这对生物学、医学等特别有价值。
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